Drogaggio per diffusione termica: differenze tra le versioni

Versione delle 14:07, 30 nov 2005

Versione delle 14:44, 30 nov 2005

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# apertura di una finestra sulla zona della matrice cristallina da trattare (questa fase è necessaria in quanto la matrice cristallina di silicio viene protetta con uno strato di [[ossido di silicio]] SiO₂ che risulta essere impermeabile agli agenti droganti);

# predeposizione (usualmente abbreviata in predep), cioè introduzione della dose desiderata di drogante, dove la dose, essendo l'integrale della concentrazione di drogante, è il numero di atomi di drogante per cm²;

# drivedry-in, che consiste nel bloccaggio della dose e nel lasciare che il drogante diffonda più in profondità, dato che un difetto della predeposizione è proprio quello di far accumulare il drogante troppo vicino all'interfaccia tra la matrice cristallina del silicio e l'atmosfera o, ugualmente, lo strato solido, ricca di droganti.

[[Categoria:Elettronica]]