Drogaggio per diffusione termica: differenze tra le versioni

Versione delle 20:23, 30 mar 2011

Versione delle 16:03, 31 ott 2011

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# apertura di una finestra sulla zona della matrice cristallina da trattare (questa fase è necessaria in quanto la matrice cristallina di silicio viene protetta con uno strato di [[Silice|ossido di silicio]] SiO₂ che risulta essere impermeabile agli agenti droganti);

# predeposizione (usualmente abbreviata in predep), cioè introduzione della dose desiderata di drogante, dove la dose, che dipende dalla concentrazione di drogante, è il numero di [[Atomo|atomi]] di drogante per cm²³;

# drive-in, che consiste nel bloccaggio della dose e nel lasciare che il drogante diffonda più in profondità, dato che un difetto della predeposizione è proprio quello di far accumulare il drogante troppo vicino all'interfaccia tra la matrice cristallina del silicio e l'atmosfera o, ugualmente, lo strato solido, ricca di droganti.